Как известно в маршруте LIGA также есть операции гальваники (золота, никеля, меди и пр.). Можно ли проводить электроосаждение вышеуказанных металлов на вашем предприятии через резистивную маску, сделанную в нашем Институте методом глубокой рентгенолитографии: рабочая площадь до диаметра 100 мм (кремниевые пластины), топологические размеры до 0,5 мкм, глубина резистивной маски до 5 мм. Заранее благодарен за ответ